Mit besseren Produkten und Prozessen in Führung gehen.

Innovationsführerschaft ist nicht das Ergebnis von Zufällen, sondern das Resultat adäquater strategischer Ausrichtung sowie ihrer konsequenten unternehmerischen Umsetzung.

Kostengünstige Serienfertigung für anspruchsvolle Mikrosysteme

Gemenex-Serie der LOTUS Systems GmbH, © LOTUS Systems GmbH 2007

Mit einer technisch neuartigen Applikation aus der Gemenex Nassbank-Serie führt LOTUS Systems ein innovatives Konzept zum anisotropen Ätzen von Silizium für die kostengünstige Serienfertigung anspruchsvoller Mikromechanik-Komponenten ein.

Das in Zusammenarbeit mit renommierten Forschungseinrichtungen, innevo consulting und führenden Unternehmen der Mikrosystemtechnik entwickelte Ätzmodul zeichnet sich aus durch

beste Ätzhomogenität,
exzellente Reproduzierbarkeit,
einfachste Bedienbarkeit, und
unschlagbar niedrige Cost-of-Ownership.

Aufgrund des einzigartigen Konzepts der Gemenex-Serie kann LOTUS Systems das neue System mit denselben hohen Prozessspezifikationen sowohl in manuellen Anlagenkonfigurationen für Forschung und Entwicklung als auch in vollautomatischen Produktionsanlagen für hohen Waferdurchsatz anbieten.

Weitere Informationen erhalten Sie vom 16.-20. April 2007 am Stand der LOTUS Systems auf der Hannover Messe, Halle 15 – Stand D34/44 oder bei:

LOTUS Systems GmbH
In der Au 6, 78187 Gutmadingen, GERMANY
Kontakt: Andreas Dietrich
Tel.: +49 7704 9233-30
Fax: +49 7704 9233-60
E-Mail: info@lotussystems.de
www.lotus-systems.com
innveo consulting
Tuulimyllyntie 6B20, 00920 Helsinki, FINLAND
Kontakt: Johannes Frech
Tel.: +358 50 339 55 99
Mobil: +49 171 830 35 00
E-Mail: contact@innevo.de

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